Monitoramento de pressão de gases de alta pureza

O gás de alta pureza, desde o armazenamento, transporte, distribuição até o tratamento de gases residuais, depende do monitoramento de pressão. O transmissor de pressão desenvolvido e produzido integralmente pela Mike Sensor é um instrumento poderoso para obter informações precisas da pressão do gás de alta pureza, sendo a escolha ideal para usuários que precisam garantir que o sistema de fornecimento de gás seja seguro, estável, sem poluição e atenda aos requisitos do processo.

Desafios da aplicação:
1. Alta taxa de vazamento de gás de alto nível;
2. Requisitos elevados de estabilidade e confiabilidade a longo prazo;
3. Diversos meios gasosos corrosivos;
4. Altos requisitos de limpeza;
5. Espaço de instalação limitado em alguns equipamentos;

Vantagens da solução:
1. Alta vedação do produto, taxa de vazamento de hélio: ≤5×10⁻¹² Pa·m³/s;
2. Alta pureza, local de produção: sala limpa de classe 100;
3. Tratamento de superfície: polimento eletrolítico, conforme SEMI F19; rugosidade da superfície: valor típico ≤0,13 μm, valor máximo ≤0,18 μm;
4. Boa resistência à corrosão, material em contato com o fluido: aço inoxidável 316L VAR+VIM conforme SEMI F20;
5. Boa estabilidade a longo prazo, estabilidade a longo prazo ±0,25% FS/ano, alto nível de proteção EMC, ponto zero ajustável;
6. Características estruturais, compacto e pequeno, adequado para espaços estreitos.

关键词： Monitoramento de pressão de gases de alta pureza

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